工业净水设备，通常要求水的电导率在0.1us/cm(电阻值在10兆欧姆)以上。
     传统用来制备超纯水的工艺是采用阴阳树脂交换设备，其优点在于初投资少，占用的地方少，但缺点就是需要经常进行离子再生，耗费大量酸碱，而且对环境有一定的破坏性。
     随着膜分离技术的不断成熟，采用一级或多级反渗透过滤工艺，其优点为无须树脂再生，缺点在于相关膜原件需定期清洗或更换，水质相对来说不是太高，大都只能做到1us/cm左右，所以在水质要求更高的时候常采用一级反渗透后面再用混床(阴阳复床)把关。
     目前制取超纯水较经济环保的工艺是采用反渗透作预处理再配上电去离子装置EDI，此工艺不需要用酸碱进行再生便可连续制取超纯水，对环境没什么破坏性，缺点在于初投资相对以上两种方式过于昂贵。